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　　据日经BP社报道，日立制制所正在“nan ○o △ tec■h2009（邦际纳米工夫归纳▽○展）”（2月 18～20日）□ 上 展出了△芯片 尺 寸…○为 1。9m○m睹 方的L SI集成型压力传感器。是诈 骗L○SI创设工艺把压力传感器 创设到LSI上酿成的，体积大幅缩小。该公 司正正在…研商诈骗150mm晶圆 临蓐线的▽=量产 事 宜。

　　将尺寸由3。4mm睹方缩小到1。9mm睹方的原因有二。一是□■正在○L ▽SI的△ 正上 方酿成压力○ 传感…○器。正本的○△试成品■固 然 层积了LS I及△压力传感 器，但因为要 =优先确立重心工夫，所以为了不正在LSI○的正 上方层叠压力 传感器，只好沿水准目标错位酿成插入式涡街流量计MC◁JV系列 < /○strong>。另一点■ 是此次缩减了 压力 传感器个别…留有 的 众余空间。留有 □空间的原因是为了装备压力传感器以外的传感器。

　　此外，日立此次还先容了可通过更 正隔○阂▽（ 承 ○担 △压力后弯曲○的 薄○膜部 ）尺寸，j9九游会网址更正检 ■ ◁测压力○ 聪▽慧度■的工夫。诈骗该工夫，可使 ◁○□=集成型压 力传感器的□安 排及 创 ▽设工艺完成圭…表化，还可将 到达通用水准的集成型压○力传感器操纵于众种用 处。

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