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  操○纵单晶硅的压阻效应○△而 组成。采用单晶硅片为弹性元件,正在单晶硅膜 片上操纵集○成电■ 途的工艺,正在 单晶硅的▽特定偏向扩散一组等值电阻,单晶硅片置于传感器腔内。当压力产生转折时,单晶硅发作应变,使直接◁扩散正在上面的应变电阻发作与被测压力成 △比例的转折,再由桥式电途取得相应的电压输出信号。

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